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净化工程 净间是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)千级超净间自净时间:是指超净间按设计换气次数开始送风到超净间,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间 1,000级希望不超过20min(分钟可取15min计算)10,000级希望不超过30min(分钟)(可取25min计算)100,000级希望不超过40min(分钟)(可取30min计算)

千级超净间换气次数按上述自净时间要求设计1,000级 43.5—55.3次/小时 规范:50次/小时 10,000级 23.8—28.6次/小时规范:25次/小时100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
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千级超净间测点总数不小于20点,测点间距为0.5-2.0米,粒径大于或等于0.5μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流千级超净间测点仅布置在第洁净工作区内。乱流千级超净间可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点,每增加20-50平方米,增加3-5个测点。

 千级超净间数据整理:每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。对于大于或等于0.5μm的尘粒数确定:千级超净间取各测定点最大值,乱流洁净室取各测点的平均值。
千级超净间正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。

无尘室等级大都为1000级和100级的居多,数字越小,洁净等级越高。 

千级超净间1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000 

千级超净间100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100 

千级超净间每个等级所管控的颗粒大小也不一样;

千级超净间依据颁布的标准209E1992】,千级超净间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级;

千级超净间的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密不大于75/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35/立方英尺)。千级超净间而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

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                                           2018 2 8

 

 

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